主要技(ji)術指(zhi)標：
※ 溫(wen)度(du)範圍(wei)：室溫(wen)—350℃（矽片上邊溫(wen)度(du)）
※ 控(kong)溫(wen)精度(du)：±1℃
※ 溫(wen)度(du)分辨率(lv)：0.1℃
※ 樣(yang)品(pin)尺寸：8英寸（需要有(you)固定夾(jia)具(ju)，還(hai)有(you)10mmx10mm,20mmx20mm樣(yang)品(pin)也(ye)需(xu)要考(kao)慮單(dan)獨(du)固定）
※ 樣品溫(wen)度(du)：精(jing)圓(yuan)上(shang)單(dan)獨(du)放壹個(ge)溫(wen)度(du)計，測(ce)量(liang)精圓(yuan)表(biao)面(mian)溫(wen)度(du)（溫(wen)度(du)計封(feng)裝在(zai)鍍(du)金無(wu)氧銅(tong)塊內(nei)，銅(tong)塊與(yu)精圓接(jie)觸(chu)測(ce)溫(wen)，使用(yong)比(bi)較(jiao)細的(de)軟(ruan)線(xian)方(fang)便移動與測(ce)量(liang)）
※ 磁場(chang)強度(du)：＞1000oe（樣(yang)品(pin)測(ce)試(shi)處磁(ci)場(chang)）
※ 持(chi)續(xu)工作時間：5小(xiao)時
※ 樣品(pin)臺尺寸：210mm （根(gen)據(ju)實際可(ke)更改，不小(xiao)於(yu)8英(ying)寸），
※ 樣品臺采(cai)用(yong)三(san)維移動方(fang)式(shi)，移動行(xing)程(cheng):±110mm,移動精度(du)：10um
※ 樣(yang)品(pin)臺主要零部(bu)件(jian)材質均為上等(deng)無(wu)磁合(he)金制(zhi)作；
※ 在(zai)室溫(wen)到350度(du)，升(sheng)溫(wen)速率(lv)優(you)於(yu)10K/min，*高加(jia)熱溫(wen)度(du)350℃；控(kong)溫(wen)精度(du)：±1℃；
※ 加(jia)熱時(shi)，加(jia)熱絲(si)被封(feng)裝(zhuang)在石英(ying)管(guan)內，極(ji)大程(cheng)度(du)的(de)減(jian)少由於(yu)加(jia)熱絲(si)的(de)揮(hui)發造成樣(yang)品表面附著物(wu)的(de)汙(wu)染(ran)；
※ 匹配(pei)磁鐵(tie)電(dian)源：雙(shuang)極(ji)性，穩定度(du)優(you)於(yu)±25ppm/h，平(ping)滑(hua)過(guo)零無(wu)斷點(dian)；
※ 匹配(pei)電磁鐵(tie)：長(chang)時(shi)間運(yun)行(xing)穩定度(du)<±0.5Gs；
※ 冷(leng)卻(que)方(fang)式(shi)：自然(ran)冷(leng)卻(que)。
