北(bei)航(hang)集(ji)成電路(lu)科(ke)學(xue)與工程學(xue)院采用錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺

         北(bei)航(hang)集(ji)成電路(lu)科(ke)學(xue)與工程學(xue)院采用錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺

        錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺的(de)諸多(duo)設計(ji)都(dou)是(shi)﹡用的(de)，探針臺的(de)配置主要(yao)是(shi)根(gen)據用戶(hu)的(de)需(xu)求進(jin)行選(xuan)配及設計。例(li)如(ru)，要(yao)求(qiu)的(de)磁場(chang)型號，電(dian)源型號，磁場(chang)值，樣品(pin)臺的(de)尺寸(cun)等，除此(ci)之外(wai)，該探針臺和我司(si)自(zi)主研發的(de)高(gao)精度雙極性恒流電(dian)源(yuan)搭配使用戶(hu)，可以(yi)磁場(chang)的(de)高(gao)穩(wen)定性。因(yin)此(ci)，該類(lei)型的(de)探針臺主要(yao)依(yi)據(ju)客戶(hu)的(de)使用情況進(jin)行設(she)計(ji)優化(hua)。北(bei)航(hang)集(ji)成電路(lu)科(ke)學(xue)與工程學(xue)院采用錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺

北(bei)航(hang)集(ji)成電路(lu)科(ke)學(xue)與工程學(xue)院采用錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺

技術(shu)參(can)數(shu)：
①磁場(chang)型號:EM3加(jia)長版(ban)
②電(dian)源(yuan)型號:JP10-40，優(you)於50ppm
③磁場(chang)值:>1000Gs@60mm間距
④磁場(chang)分辨(bian)率:優(you)於(yu)0.1Gs
⑤三(san)維探針座:高(gao)精度三(san)維探針座4個
⑥載物(wu)臺直(zhi)徑(jing):30mm
⑦Y軸位(wei)移-15mm至(zhi)200mm,精度優於(yu)10微米

⑧X軸位(wei)移±15mm,精度優於(yu)10微米

⑨Z軸行程10mm,精度優於(yu)20微米
⑩R軸旋轉(zhuan):360度粗(cu)調(tiao)，±5°範圍內精調(tiao)，精調(tiao)精度10'
⑪顯微鏡(jing):體視顯微鏡(jing)，變(bian)倍(bei)範(fan)圍優於10-150倍(bei)。

⑫機械加(jia)工精度優於(yu)10微米。

霍爾(er)探頭(tou)技術(shu)參(can)數(shu)

使用說(shuo)明(ming)

1.將(jiang)霍(huo)爾(er)探頭(tou)接入(ru)高(gao)斯(si)計後(hou)面(mian)板(ban)的(de)DB15接口；DC9V電(dian)源(yuan)適配器插入(ru)高(gao)斯(si)計後(hou)面(mian)板(ban)的(de)供(gong)電接口；若(ruo)使用計算機遠程通信，還(hai)要(yao)用串口線(xian)將(jiang)高(gao)斯(si)計後(hou)面(mian)板(ban)的(de)DB9接口連(lian)接到(dao)計算機串口。

2.DC9V電(dian)源(yuan)適配器插入(ru)220VAC插(cha)座，高(gao)斯(si)計即可上電(dian)工作，此(ci)時(shi)高(gao)斯(si)計前面(mian)板(ban)紅色(se)指(zhi)示燈(deng)閃爍，液(ye)晶屏(ping)顯示磁場(chang)數(shu)據(ju)。

3.探頭(tou)校零：將(jiang)霍(huo)爾(er)探頭(tou)遠離磁場(chang)，觀察(cha)高(gao)斯(si)計表頭(tou)顯示是(shi)否為(wei)零；若顯示不(bu)為零，需(xu)要(yao)將(jiang)霍(huo)爾(er)探頭(tou)進(jin)行校(xiao)零；將(jiang)探頭(tou)遠離磁場(chang)或(huo)放(fang)入(ru)零高(gao)斯(si)腔中（推薦(jian)，此(ci)時(shi)將(jiang)探頭(tou)前端(duan)平(ping)行伸(shen)入(ru)零高(gao)斯(si)腔內，不(bu)要(yao)碰著腔壁(bi)），然(ran)後(hou)在(zai)計(ji)算(suan)機上打(da)開串口調(tiao)試工具，輸(shu)入(ru)“zero”指(zhi)令(ling)給高(gao)斯(si)計，即可探頭(tou)校零。

4.探頭(tou)方(fang)向(xiang)識別：霍(huo)爾探頭(tou)T-300為橫向(xiang)探頭(tou)，磁場(chang)敏感(gan)元件(jian)位(wei)於(yu)探頭(tou)的(de)前端(duan)約(yue)3mm位(wei)置；霍爾(er)探頭(tou)手柄(bing)上有(you)“錦(jin)正(zheng)茂”標(biao)記(ji)的(de)那面(mian)對(dui)著磁場(chang)N極時(shi)，高(gao)斯(si)計顯示磁場(chang)值為正(zheng)值；反(fan)之為負(fu)值。

5.儀(yi)器(qi)設(she)置完成，進(jin)入(ru)正(zheng)常(chang)測(ce)量狀態(tai)。

北(bei)航(hang)集(ji)成電路(lu)科(ke)學(xue)與工程學(xue)院采用錦正(zheng)茂JZM-D30室(shi)溫探針臺