強(qiang)磁場(chang)退火(huo)爐(lu)GC-800性(xing)能指標(biao)參(can)數(shu)

晶圓強(qiang)磁場(chang)退火(huo)熱處(chu)理裝(zhuang)備可(ke)以將(jiang)被(bei)測(ce)樣(yang)品同(tong)時置於強(qiang)磁場(chang)、高真空、高溫、氣氛(fen)環境中(zhong)，同(tong)時也可(ke)以(yi)單獨或任(ren)意組合(he)這三種實(shi)驗(yan)環(huan)境，滿足不同(tong)樣(yang)品在不同(tong)環(huan)境下的(de)測試要(yao)求。

適應範圍：高溫、高真空、強(qiang)磁場(chang)環境中(zhong)加(jia)熱或去磁的各(ge)種磁性材(cai)料(liao)。

性(xing)能指標(biao)參(can)數(shu)

磁體(ti)軸(zhou)線上(shang)，縱向磁場(chang)分布詳見附(fu)件電(dian)磁設計數(shu)據

磁體(ti)均(jun)勻區縱向磁場(chang)均(jun)勻度小於(yu)0.1%

溫孔軸心(xin)和(he)磁場(chang)軸心(xin)偏(pian)差（包括(kuo)平(ping)移(yi)和(he)傾斜(xie)）小於(yu)0.2mm

勵(li)磁電(dian)流小(xiao)於(yu)120A，軸心(xin)磁場(chang)達到12T

常(chang)溫到超(chao)導(dao)工作(zuo)時間應小於(yu)48小時。

**保(bao)護(hu)

高(gao)溫報警：設(she)備發出警報(bao)後自動(dong)切(qie)斷(duan)輸(shu)出，實(shi)現設備保(bao)護(hu)。

失超(chao)報警：設(she)備失超(chao)後自動(dong)保(bao)護(hu)。

缺(que)相(xiang)報警(jing)：設(she)備缺(que)相(xiang)後發出錯誤指(zhi)示(shi)，直至(zhi)恢復(fu)正常(chang)。

真空度警報(bao)：實(shi)現真空度非正(zheng)常狀(zhuang)態報(bao)警