主(zhu)要技術(shu)指(zhi)標：
※ 溫度範(fan)圍：室溫—350℃（矽片(pian)上(shang)邊(bian)溫度）
※ 控(kong)溫精(jing)度：±1℃
※ 溫度分辨(bian)率：0.1℃
※ 樣(yang)品尺(chi)寸：8英(ying)寸(cun)（需(xu)要有(you)固(gu)定夾具，還有(you)10mmx10mm,20mmx20mm樣(yang)品也需(xu)要考慮單(dan)獨(du)固(gu)定）
※ 樣(yang)品溫度：精圓(yuan)上(shang)單(dan)獨(du)放(fang)壹(yi)個(ge)溫度計(ji)，測量(liang)精圓(yuan)表面(mian)溫度（溫度計(ji)封裝(zhuang)在鍍金無氧銅塊內(nei)，銅(tong)塊與(yu)精(jing)圓 接(jie)觸(chu)測溫，使(shi)用(yong)比(bi)較(jiao)細的(de)軟(ruan)線方便(bian)移動(dong)與測量）
※ 磁(ci)場(chang)強度：＞1000oe（樣(yang)品測試處磁(ci)場(chang)）
※ 持續(xu)工(gong)作時(shi)間(jian)：5小時
※ 樣(yang)品臺(tai)尺(chi)寸：210mm （根(gen)據(ju)實(shi)際(ji)可(ke)更(geng)改，不小於8英(ying)寸(cun)），
※ 樣(yang)品臺(tai)采(cai)用(yong)三維(wei)移動(dong)方式(shi)，移(yi)動(dong)行程:±110mm,移動(dong)精度：10um
※ 樣(yang)品臺(tai)主要零部(bu)件(jian)材(cai)質均為上(shang)等無磁(ci)合(he)金制作(zuo)；
※ 在室溫到(dao)350度，升(sheng)溫速(su)率(lv)優於(yu)10K/min，*高加熱溫度350℃；控(kong)溫精(jing)度：±1℃；
※ 加熱(re)時(shi)，加熱絲被封裝(zhuang)在石英(ying)管內(nei)，極(ji)大程度的減(jian)少由於加熱(re)絲的揮發造成樣(yang)品表面附著物(wu)的(de)汙染(ran)；
※ 匹配(pei)磁(ci)鐵(tie)電(dian)源(yuan)：雙(shuang)極性(xing)，穩定度優於(yu)±25ppm/h，平(ping)滑(hua)過零無斷點(dian)；
※ 匹(pi)配(pei)電(dian)磁(ci)鐵(tie)：長(chang)時間(jian)運(yun)行(xing)穩定度<±0.5Gs；
※ 冷卻(que)方式(shi)：自然冷卻(que)。
軟(ruan)件1.1功(gong)能(neng)介紹：
※ 可(ke)以(yi)控(kong)制電(dian)流掃場(chang)，
※ 可以(yi)控(kong)制溫度變化(hua)，
※ 可(ke)以輸(shu)出(chu)電流(liu)測電(dian)壓得(de)到電(dian)阻，
※ 可以(yi)輸(shu)出(chu)電壓測(ce)電流(liu)得(de)到(dao)電阻，
※ 測試(shi)程序需(xu)要輸(shu)出(chu)數據(ju)及測試(shi)圖(tu)，
※ 采(cai)集(ji)記(ji)錄(lu)精(jing)圓(yuan)處測量的(de)數據(ju)
顯微(wei)鏡(jing)功(gong)能(neng)介紹H5608
※ 采(cai)用(yong)積(ji)木(mu)式(shi)結(jie)構(gou)，平行光路光(guang)學(xue)系(xi)統(tong)；
※ 0.6-5.0X連(lian)續(xu)變(bian)倍(bei)，1:8.3大變倍(bei)比。高分辨(bian)率、高對比(bi)度成像(xiang)。重復定位；精(jing)度高，重(zhong)復(fu)精度可達(da)1um；
※ 標配(pei)工(gong)作距(ju)離(li)：86mm；
※ CCD接口(kou)可(ke)選：0.5X；
※ 不(bu)同(tong)倍(bei)率輔助(zhu)物(wu)鏡(jing)倍(bei)率可選：0.3X-2.5X。
※ 采(cai)用(yong)842萬(wan)像(xiang)素索(suo)尼新壹(yi)代高(gao)動(dong)態範(fan)圍CMOS 圖像(xiang)傳(chuan)感器(qi)；
※ 采(cai)用(yong)1/1.8英(ying)寸(cun)圖像(xiang)傳(chuan)感器(qi)；
※ HDMI*高(gao)4K 60幀圖像(xiang)輸(shu)出(chu)；
※ 支持拍照(zhao) ,JPG格式；
※ 支持手動(dong)壹鍵曝光(guang)
※ 支持手動(dong)壹鍵白(bai)平衡(heng)，紅(hong)、綠(lv)、藍(lan)可(ke)調；
※ 提供(gong)8條畫(hua)線功(gong)能(neng)，線條顏(yan)色、粗(cu)細，位(wei)置(zhi)可調；
※ 支持U盤存儲(chu)；
※ 支持鼠標操(cao)作；
※ 拍照(zhao)不(bu)抖動(dong)圖像(xiang)更清(qing)晰(xi)；
※ 支持中(zhong)/英(ying)/繁(fan)語(yu)言（默(mo)認(ren)英(ying)文(wen)）；
※ 支持關機設置參數保存；
※ 采(cai)用(yong)CNC精(jing)銑(xi)技術(shu)加(jia)工(gong)鋁合(he)金外殼；
設備配(pei)置(zhi)
※ 定制高(gao)溫加(jia)熱(re)樣(yang)品臺(tai)：1
※ 手動(dong)探針：4
※ 定制高(gao)溫控(kong)溫儀(yi)：1 JH401
※ 定制電(dian)磁(ci)鐵(tie)：1 DZ-12
※ 雙(shuang)極性(xing)恒(heng)流(liu)電源：1 JCP-5/40SA
※ 定制三維(wei)手動(dong)位移臺(tai)：1 PT80-50
※ 樣(yang)品處溫度傳(chuan)感器(qi)，及顯示器(qi)：1 PT100-BO
※ 定制軟(ruan)件： 1套
※ 內(nei)置(zhi)高(gao)斯(si)計(ji)：1臺(tai)
※ 臺(tai)式計(ji)算(suan)機(ji)：1臺(tai)
※ 顯微(wei)鏡(jing)：1套H5608
